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Berücksichtigungen bei der Gestaltung der Metallisierungsebenen

Bei der Gestaltung der Metallebenen sind folgende Punkte zu beachten

  • Vermeidung von Verengungen bei Leiterbahnen aus Aluminium, um Elektromigration zu verhindern. Dazu können insbesondere scharfe Kanten auf darunterliegenden Ebenen abgerundet werden.

Abb. 40: Verengungen einer Metallebene bei Abscheidung auf scharfen Kanten.

  • Ungenauigkeit des Lithografieverfahrens durch Reflexionen:
    Das Belichtungsverfahren wird aufgrund von Reflexionen an Kanten ungenau. Für eine präzise Strukturierung muss daher eine Antireflexschicht aus amorphem Siliziumdioxid verwendet werden.