Glovebox

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Glovebox

Ein hermetisch abgeriegeltes Gehäuse mit armlangen Handschuhen (engl. gloves), in die der Bediener schlüpfen kann, um von außen Arbeiten in diesem Gehäuse auszuführen. Diese Gehäuse umfassen das Herzstück von Anlagen zur Herstellung von Verbindungs-Halbleitern; es wird mit hochreinem Gas, zum Beispiel Stickstoff gefüllt, und darin befindet sich der MOCVD-Reaktor.




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