Planetenrotation

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Planetenrotation

Ein Herstellungsverfahren im Rahmen von MOCVD, bei dem sich auf einer großen Scheibe mehrere kleine Teller wie Planeten im Weltraum drehen. Die große Scheibe dreht sich dabei ebenfalls. Damit wird ein sehr homogenes, gleichmäßiges Aufbringen der Gasverbindungen auf den Wafer erreicht.




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