Trägergas

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Trägergas

Bei dem derzeit bevorzugten Verfahren zur Herstellung von Verbindungs-Halbleitern – MOCVD – werden die Ausgangsmaterialien außerhalb der Anlage in Gase umgewandelt und dann mit einem Trägergas in den Reaktor eingeführt. Die derzeit verbreitetsten Trägergase sind Wasserstoff und Stickstoff: Wasserstoff ist in hoher Reinheit herstellbar, und Stickstoff ist sehr reaktionsarm.




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