Heizung

Beim MOCVD-Verfahren zur Herstellung von Verbindungs-Halbleitern werden die Ausgangsstoffe – etwa Gase – in die gewünschten Komponenten zerlegt. Dazu müssen sie erhitzt werden. Das passiert im wesentlichen mit Lampenheizung oder mit Heizungssystemen, die auf Hochfrequenz-Induktion beruhen.