VPE

VPE ist ein älteres, bewährtes Verfahren zur Herstellung von Verbindungs-Halbleitern, angesiedelt zwischen LPE und MOCVD. Die Schichtendicke ist dabei besser zu regulieren als bei LPE. Die Methode erlaubt das saubere Auftragen dicker, reiner Schichten auf den Wafer. Allerdings ist VPE nicht sehr flexibel bezüglich möglicher Verbindungen. AIXTRON liefert entsprechende Anlagen für Nischenanwendungen.