Informationen rund um das Thema Halbleitertechnologie
Essentielle Einblicke in die dynamische Halbleiterbranche
Abnutzung der Kontakte durch Elektromigration
Eine Besonderheit mit außerordentlich negativen Auswirkungen beim Einsatz des leichten...
Abrunden des Scheibenrandes
Die beim Sägen der Wafer entstandenen kantigen Ränder erweisen sich...
Abscheidung
In diesem Kapitel werden Methoden erläutert, mit denen diverse Schichten...
Andere Techniken
Auch durch die Wirkung eines Ionenstrahls kann die Belichtung stattfinden....
Anwendung von Halbleitern
Die beeindruckende Zahl der mit der Halbleitertechnologie realisierbaren Bauteile ergibt...
Ätzen
Bei den vorangegangenen mechanischen Prozessen wurden Kristallschädigungen am Halbleitermaterial verursacht,...
Ätztechnik
Das Ätzen ist ein wichtiger Schritt in der Prozessierung von...
Aufbau einer Anlage zur Ionenimplantation
Abb. 24: Der Aufbau einer Ionenimplantationsanlage In einer Anlage zur...
Aufbringen der Lackschicht
Dazu müssen die Wafer zunächst kurzzeitig erhöhter Temperatur ausgesetzt werden,...
