- Grundlagen / Aufbau der Materie
- Elektrische Leitfähigkeit im Festkörper
- Anwendung von Halbleitern
- Prozessschritte Halbleiter-Produktion
- Das Grundsubstrat – der Wafer
- Dotierung
- Oxidation
- Abscheidung
- Metallisierung
- Strukturierung
- Ätztechnik
- Gliederung
Andere Techniken
Auch durch die Wirkung eines Ionenstrahls kann die Belichtung stattfinden. Diese Methode hat jedoch noch keinen Einzug in die industrielle Produktion gefunden, da sie noch nicht in ausreichender Geschwindigkeit mit vertretbarem Aufwand realisierbar ist.
- Grundlagen / Aufbau der Materie
- Elektrische Leitfähigkeit im Festkörper
- Anwendung von Halbleitern
- Prozessschritte Halbleiter-Produktion
- Das Grundsubstrat – der Wafer
- Dotierung
- Oxidation
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- Metallisierung
- Strukturierung
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