Informationen rund um das Thema Halbleitertechnologie
Essentielle Einblicke in die dynamische Halbleiterbranche
Prozessschritte Halbleiter-Produktion
Überblick Wie wir im Kapitel über die Grundlagen gesehen haben,...
Reaktives Ionenätzen (RIE)
Bei diesem Verfahren entfaltet sich die Ätzwirkung durch beschleunigte Ionen...
Reflow-Rückätzen
Mit diesem Verfahren werden Kanten einer Kontaktstruktur zum Aufbringen einer...
Röntgenstrahl-Lithografie
Um die Strukturgrößen im Vergleich zur Bestrahlung mit UV-Licht weiter...
Sägen
Von den Siliziumstäben trennt man die Scheiben mit einer Innenlochsäge...
Schutz der Chipoberfläche durch Passivierung und Ummantelung
Um die Korrosion der Leiterbahnen zu unterbinden erfolgt abschließend eine...
Segregation
Beim Wachstum der Oxidschicht wird das Silizium des Substrats teilweise...
Silan-Pyrolyse
Bei dieser Technik wird zu dem für die Oxidation nötigen...
Spektroskopie
Auch bei der Spektroskopie misst man die Intensität des am...
