Um die Strukturgrößen im Vergleich zur Bestrahlung mit UV-Licht weiter zu verkleinern, kann die Röntgenstrahlung im noch kurzwelligeren Bereich des elektromagnetischen Spektrums verwendet werden. Dabei sind Strukturen der Ausdehnung bis hinab zu 40nm möglich.
Auch hier erfolgt die Belichtung mit Maskentechnik, wobei hier statt Glasplatten mit Chrom-Überzug Berylliom-Folien mit Beschichtung mit Gold oder anderen schweren Materialien zum Einsatz kommen.
Diese Technik ist wegen der komplizierten Apparatur und den teueren Maskenmaterialien sehr kostenintensiv.