Der Fotolack

  • Der Fotolack

    Ein Fotolack wird Positivlack genannt, wenn er durch die Belichtung für die folgende Entwicklungslösung löslich gemacht wird. Die Lackschicht erhält damit dieselbe Struktur wie die Chrombeschichtung der Maske. Bei einem Negativlack dagegen werden belichtete Stellen für die weiteren Schritte resistent, so dass die Struktur der Maske invertiert übernommen wird.

    Die häufigste Anwendung in der Lithografietechnik finden Positivlacke. Sie gewährleisten die höhere Auflösung und lassen sich leichter entwickeln. Negativlacke werden z.B. zur Erzeugung einer schützenden Passivierungsschicht (auch Fotoimidschicht genannt) verwendet. Sie können in flüssiger Form leicht aufgebracht und durch ganzflächige Bestrahlung mit UV-Licht stabil gemacht werden.

    Abb. 44: Die verschiedenen Resultate bei Positiv- und Negativlacken