Die chemischen Komponenten

///Die chemischen Komponenten
  • Die chemischen Komponenten

    Als Fotolack kommt eine Mischung des sogenannten Sensibilisators (ca 10%) mit einem Bindemittel (ca 20%) verdünnt durch Lösungsmittel (ca 70%) zum Einsatz.

    Sensibilisator

    Der Sensibilisator ist die lichtempfindliche Komponente des Lacks, durch die sich bei der Bestrahlung mit Licht ausreichend hoher Energie die Löslichkeit gegenüber der Entwicklungsflüssigkeit ändert. Der Sensibilisator reagiert dagegen noch nicht auf das relativ kurzwellige gelbe Licht. In den Produktionsanlagen wird daher in Bereichen der Lithografieschritte mit Gelblicht gearbeitet.

    Bindemittel

    Als Bindemittel kommt oft Novolac zum Einsatz. Das ist ein Phenolharz (synthetisch hergestelltes Harz) das starken Einfluss auf die thermischen Eigenschaften des Fotolacks hat.

    Lösungsmittel

    Um den Lack zu verdünnen und so seine Zähigkeit zu beeinflussen, besteht der Lack zu hohem Anteil aus Lösungsmittel. Diese Komponente wird später bei erhöhter Temperatur aus dem Lack ausgedampft um den Lack auszuhärten.

    Der Lack wird mit festgelegter Zusammensetzung, Oberflächenspannung, Dichte und Viskosität ausgeliefert. Die Dicke einer erzeugten Lackschicht ist dann allein durch die Rotationsgeschwindigkeit des Wafers in der Fertigungsapparatur zur Belackung festgelegt.