Hier wird das Trägergas zur Anreicherung durch eine Flüssigkeit wie Borbromid (BBr3) oder Phosphorylchlorid (POCl3) geblasen.
Hier wird das Trägergas zur Anreicherung durch eine Flüssigkeit wie Borbromid (BBr3) oder Phosphorylchlorid (POCl3) geblasen.