Techniken zur Einebnung

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  • Techniken zur Einebnung

    Da die Metallabscheidungstechniken an Kanten eine deutlich geringere Schichtdicke erzeugen als auf den waagrechten Flächen, haben die Leiterbahnen oft unerwünschte Verengungen. Durch den ungleichmäßigen, lokal stark erhöhten Stromfluss hat dann bei Aluminium der Effekt der Elektromigration (siehe link: Abnutzung der Kontakte durch Elektromigration) sehr negative Auswirkungen. Leiterbahnen erfahren dadurch starke Abnutzung und können unterbrochen werden. Grobe Kanten müssen vor der Metallisierung daher entschärft werden.

    Möglichkeiten dazu sind: