- Grundlagen / Aufbau der Materie
- Elektrische Leitfähigkeit im Festkörper
- Anwendung von Halbleitern
- Prozessschritte Halbleiter-Produktion
- Das Grundsubstrat – der Wafer
- Dotierung
- Oxidation
- Abscheidung
- Metallisierung
- Strukturierung
- Ätztechnik
- Gliederung
Gasphasendiffusion
Hierbei wird das gasförmige Phosphin (PH3) bzw Diboran (B2H6) beigemischt. Da diese Gase sehr giftig sind, ist die Handhabung sehr aufwändig.
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