Hierbei wird das gasförmige Phosphin (PH3) bzw Diboran (B2H6) beigemischt. Da diese Gase sehr giftig sind, ist die Handhabung sehr aufwändig.
Hierbei wird das gasförmige Phosphin (PH3) bzw Diboran (B2H6) beigemischt. Da diese Gase sehr giftig sind, ist die Handhabung sehr aufwändig.