Berücksichtigungen bei der Gestaltung der Metallisierungsebenen

Bei der Gestaltung der Metallebenen sind folgende Punkte zu beachten

• Vermeidung von Verengungen bei Leiterbahnen aus Aluminium, um Elektromigration zu verhindern. Dazu können insbesondere scharfe Kanten auf darunterliegenden Ebenen abgerundet werden.

Abb. 40: Verengungen einer Metallebene bei Abscheidung auf scharfen Kanten.

• Ungenauigkeit des Lithografieverfahrens durch Reflexionen:
  Das Belichtungsverfahren wird aufgrund von Reflexionen an Kanten ungenau. Für eine präzise Strukturierung muss daher eine Antireflexschicht aus amorphem Siliziumdioxid verwendet werden.