Berücksichtigungen bei der Gestaltung der Metallisierungsebenen

//Berücksichtigungen bei der Gestaltung der Metallisierungsebenen
  • Berücksichtigungen bei der Gestaltung der Metallisierungsebenen

    Bei der Gestaltung der Metallebenen sind folgende Punkte zu beachten

    • Vermeidung von Verengungen bei Leiterbahnen aus Aluminium, um Elektromigration zu verhindern. Dazu können insbesondere scharfe Kanten auf darunterliegenden Ebenen abgerundet werden.

    Abb. 40: Verengungen einer Metallebene bei Abscheidung auf scharfen Kanten.

    • Ungenauigkeit des Lithografieverfahrens durch Reflexionen:
      Das Belichtungsverfahren wird aufgrund von Reflexionen an Kanten ungenau. Für eine präzise Strukturierung muss daher eine Antireflexschicht aus amorphem Siliziumdioxid verwendet werden.