Lackkontrolle

  • Lackkontrolle

    Schließlich folgt ein Schritt zur Kontrolle der erzeugten Lackschicht. Dabei wird die Orientierung der Struktur zur darunterliegenden Schicht überprüft. Dies geschieht mit Justiermarken in der Grundlagenschicht, die sich mit entsprechenden Aussparungen in der aufgetragenen Schicht decken müssen.

    Außerdem muss die Breite der Strukturen untersucht werden, bevor diese im Ätzverfahren auf die eigentliche Materialschicht übertragen werden kann. Dies kann bei genügend großen Strukturen unter dem Lichtmikroskop geschehen. Das senkrecht auf den Wafer auftreffende Licht wird dabei von den Kanten nicht zurückgeworfen, so dass diese vergrößert sichtbar werden und somit einer Kontrolle zugänglich sind.

    Abb. 45: Diverse Justiermarken